Ko te whakangao kohu tinana (Physical Vapor Deposition, PVD) e pa ana ki te whakamahi i nga tikanga tinana i raro i nga tikanga korehau ki te whakangote i te mata o te puna rauemi (totoka, wai ranei) ki roto i nga ngota hau, ngota ngota ranei, ka katote etahi waahanga hei katote, ka haere ma te hau pehanga iti (te plasma ranei). Tukanga, he hangarau mo te whakatakoto i tetahi kiriata angiangi me tetahi mahi motuhake ki runga i te mata o te tïpako, a ko te waipara kohu tinana tetahi o nga tino hangarau maimoatanga mata. Ko te hangarau whakakikorua o te PVD (te whakapohehe tinana) ka wehea ki nga waahanga e toru: te paninga whakaetonga korehau, te paninga whakaetonga korehau me te paninga katote korehau.
Ko o tatou hua e whakamahia ana i roto i te whakaetonga waiariki me te paninga sputtering. Ko nga hua e whakamahia ana i roto i te waipara kohu ko te waea whenu tungsten, poti tungsten, poti molybdenum, me nga poti tantalum ko nga hua e whakamahia ana i roto i te paninga kurupae irahiko ko te waea tungsten cathode, te parapara parahi, te tungsten crucible, me nga waahanga tukatuka molybdenum Ko nga hua e whakamahia ana i roto i te paninga sputtering ko nga whaainga whaainga titanium, me te tichromanium target.
